1、機臺采用進口勞士領板材，長期可工作在酸腐蝕環境，堅固耐用，雙層防漏 。
2、采用外置大酸槽制冷循環到小酸槽的結構，可腐蝕開溝4“，5”，6“硅片。
3、全自動運行設計，操作方便安全。
4、溫控能力RT~-20°C，溫控精度±1°C。
5、制冷盤管專利設計，長時間使用不會腐蝕，直接制冷效果佳。
6、開溝均勻，130μm可達±3μm。
7、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI；
8、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側。
9、設備設計標準按半導體行業標準（SEMI-S2-93）執行，ISO9001質量管理體系進行規范和保證。
10、國內發明專利號：ZL20140082522.0
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山東電話：0635-3999580
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